1、工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動，無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對氣體有壓縮的作用。
2、螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。